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供应HVPE系统

  • 发布时间:2014年02月07日
  • 有 效 期:2014年08月09日
详细说明

    HVPE系统(国内唯一专业制造厂家)

在LED、LD、紫外探测器、功率电子器件众多领域均有广泛应用

应用领域:用于第三代半导体材料GaN晶体或厚膜生长

□ 用 途:在 GaN/ 蓝宝石/SiC外延生长GaN 厚膜/单晶

□ 结构形式:垂直结构 / 水平结构

□ 工作能力:单片 / 三片( 2-4inch )

□ 设备组成:主机(反应室、加热体等)、真空及压力控制系统、计算机控制系统、气源/ 气柜系统、尾气处理等

□ 应 用: 为科研院所、大专院校定制产品

□ 供货类型: 研发型(R&D)







欢迎索取相应详尽的技术资料及共研相应项目的解决方案。

 
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